尼康10X/20X/50X干涉相干測量物鏡有貨
尼康10X/20X/50X干涉相干測量物鏡有貨
尼康10X/20X/50X干涉相干測量物鏡有貨
產品說明:
· 適合非接觸光學壓型
· 可選Michelson 和 Mirau鏡頭
· 200mm鏡筒遠場校正設計
干涉測量鏡頭可用在非接觸光學壓型測量設備上,通過此鏡頭可得到表面位圖和表面測量參數等
。也可用來檢測表面粗糙度,測量精度非常高,在一個波長之內。
一束光通過分光鏡,可將光直接射向樣品表面和內置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過再結合,就產生了干涉圖案。
與Mirau鏡頭比起來,Michelson鏡頭擁有更長的工作距離,更寬的視場和更大的焦深。
Mirau鏡頭用在需要高倍率和/或大數值孔徑的場合。采用Nikon200mm鏡筒的話可將鏡頭直接裝配到C接口相機上。
品名型號 產品號 放大率 數字孔徑(NA)
50xNikon相干測量物鏡 59-314 50X 0.55
焦深(μm) 視場,1/2" 傳感器
0.9 FOV, 1/2" Sensor)0.13 x 0.10mm
視場, 2/3" 傳感器
(FOV, 2/3" Sensor)
0.18 x 0.13mm
視場,20直徑視場目鏡(mm)0.22
視場,25直徑視場目鏡(mm)0.5
焦距FL (mm)4.0
生產商Nikon
安裝螺紋RMS
分辨能力 (μm)0.5
類型Mirau
重量 (g)150.00
工作距離WD (mm)3.4
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