尼康50X干涉物鏡有
尼康50X干涉物鏡有
尼康50X干涉物鏡有
2.5x 5x 10x 20x 50x100x
工作距離（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.42.0
NA（數值孔徑） 0.055 0.15 0.30 0.450.55 0.7
FOV（mm）1 5093×3818 2546×19091270×950 637×477 254×190 127×95
空間采樣（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.830.33 0.17
光學分辨率 藍光（L&S）（mm）3 2.550.93 0.46 0.31 0.25 0.20
光學分辨率 白光（L&S）（mm）3 3.041.11 0.56 0.37 0.30 0.24
大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o42o
垂直分辨率（nm）PSI7
垂直分辨率（nm）ePSI7 <0.1nm（PZT0.01nm）
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